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SCG200系列半导体级单晶硅炉

产品编号
所属分类:半导体级单晶硅炉
应用领域:主要应用于8英寸硅片制造。
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SCG200系列半导体级单晶硅炉
产品描述

 

◆ 设备具有高稳定性、高可靠性的结构设计;

◆ 配备了自主研发的晶体生长控制系统;

◆ 配合低能耗、高清洁度热场系统及超导磁场,可实现全自动长晶;

◆ 生长晶体可满足半导体级8英寸轻掺硅片指标要求。

 

 

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