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SCG300系列半导体级单晶硅炉
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SCG300系列半导体级单晶硅炉

应用领域:主要应用于12英寸硅片制造。

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产品描述

 

◆ 设备具有高稳定性、高真空度、高可靠性的结构设计;
◆ 配备自主研发的功率控制、锁拉速等生长控制算法;
◆ 热场系统具有高水平微缺陷控制能力;
◆ 配合水冷套、超导磁场及基础工艺包;
◆ 生长晶体可满足COP-FREE硅片指标要求。

 

 

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