产品中心
SCG300系列半导体级单晶硅炉
产品编号
所属分类:半导体级单晶硅炉
如果您希望获取更多产品信息,欢迎联系我们
SCG300系列半导体级单晶硅炉
产品描述
◆ 设备具有高稳定性、高真空度、高可靠性的结构设计;
◆ 配备自主研发的功率控制、锁拉速等生长控制算法;
◆ 热场系统具有高水平微缺陷控制能力;
◆ 配合水冷套、超导磁场及基础工艺包;
◆ 生长晶体可满足COP-FREE硅片指标要求。
上一个
SCG200系列半导体级单晶硅炉
下一个
无
相关产品
Copyright © 2022 南京晶升装备股份有限公司 All Rights Reserved 苏ICP备2022020624号 技术支持:中企动力 南京