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SCET420系列感应加热PVT碳化硅单晶炉

产品编号
所属分类:碳化硅单晶炉
应用领域:主要用于生产4-8英寸碳化硅单晶衬底。
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SCET420系列感应加热PVT碳化硅单晶炉
产品描述

 

◆ 设备采用先进的电磁屏蔽技术;

◆ 同时对真空、温度等控制参数定点标定及二次校准,减小机差;

◆ 增强碳批量化生产的工艺可复制性。

 

 

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