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SCMP系列感应加热PVT碳化硅单晶炉
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SCMP系列感应加热PVT碳化硅单晶炉

所属分类:

应用领域:主要用于生产4-8英寸碳化硅单晶衬底。

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产品描述

 

◆ 设备采用双线圈感应加热系统,可实现独立运动控制及功率加载,改善单线圈系统轴向径向温梯耦合严重的问题;

◆ 同时配备一体式焊接结构石英腔室、 离线式装料系统、高精度控温控压技术和感应线圈高精度安装与定位等技术,可实现设备高稳定性运行。

 

 

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