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电阻加热PVT SCR950系列碳化硅单晶炉
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电阻加热PVT SCR950系列碳化硅单晶炉

所属分类:

应用领域:主要用于生产4-8英寸碳化硅单晶衬底。

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产品描述

 

 

◆ 设备采用多段式电阳加热,可实现长晶过程中温度梯度的动态调整;

◆ 同时,先进的气流路径规划及热场防护技术,可降低长晶过程的热场衰减,增加热场使用寿命,提升温场稳定性;

◆ 配备长晶界面可视化系统,实时监测晶体生长状态以提升长晶效率。

 

 

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