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集成电路刻蚀用硅材料长晶炉SF280系列
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所属分类：其他晶体生长设备
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集成电路刻蚀用硅材料长晶炉SF280系列
产品描述
◆ 设备采用坩埚下降法，多温区控温，通过优化气路设计，可有效避免热场和晶体的相互污染；
◆ 自动化程度高，可根据需要定制晶体形状，提高效率和原料的利用率。
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