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LEP碳化硅电阻炉
产品描述
设备采用多段式电阻加热，可实现长晶过程中温度梯度的动态调整；同时，先进的气流路径规划及热场防护技术，可降低长晶过程的热场衰减，增加热场使用寿命，提升温场稳定性；配备长晶界面可视化系统，实时监测晶体生长状态以提升长晶效率
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