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半绝缘型碳化硅长晶炉
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半绝缘型碳化硅长晶炉
产品描述
设备采用模块化结构设计，可方便切换晶体生长尺寸和石英腔室冷却方式；全金属密封结构可以降低漏率；旋转液动力的冷却方式提升了冷却均匀性；高精度控温控压及远程监控技术进一步提升了设备自动化程度
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