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导电型碳化硅长晶炉

产品编号
所属分类:无分类内容
主要应用于碳化硅单晶衬底制造
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导电型碳化硅长晶炉
产品描述

设备采用先进的电磁屏蔽技术,同时对真空、温度等控制参数定点标定及二次校准,减小机差,增强批量化生产的工艺可复制性

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