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碳化硅长晶炉
产品描述
设备采用双线圈感应加热系统，可实现独立运动控制及功率加载，改善单线圈系统轴向径向温梯耦合严重的问题；同时配备一体式焊接结构石英腔室、离线式装料系统、高精度控温控压技术和感应线圈高精度安装与定位等技术，可实现设备高稳定性运行
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