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12英寸半导体单晶硅炉
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12英寸半导体单晶硅炉
产品描述
设备具有高稳定性、高真空度、高可靠性的结构设计，配备自主研发的功率控制、锁拉速等生长控制算法，热场系统具有高水平微缺陷控制能力，配合水冷套、超导磁场及基础工艺包，生长晶体可满足COP-FREE硅片指标要求，能够满足不同技术规格半导体级硅片的生长及制造要求。
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