LP系列碳化硅液相长晶炉

所属分类：

应用领域：主要用于生产碳化硅单晶衬底，产品覆盖6-12英寸碳化硅单晶生产设备。

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产品描述

　　LP 系列碳化硅液相长晶炉型号齐全，可支持 4 英寸、6 英寸及 8 英寸碳化硅单晶制备。设备功能完善，集成晶体提升、旋转、测温、液面观测、籽晶液面接触检测、称重等多项功能，并支持按需选配。

　　终端产品主要面向高压及特高压应用场景，广泛应用于特高压 / 柔性直流输电、轨道交通(高铁、地铁牵引)、新能源汽车高压平台、光伏、储能及工业大功率装备等领域。

　　1、设备集成CCD液面检测与籽晶称重模块，通过智能算法精准调控籽晶-熔体接触;

　　2、采用高精度旋转驱动系统，保障坩埚、籽晶与温场同心度;

　　3、设备种类齐全、功能完善，全面覆盖液相感应炉与液相电阻炉，集成晶体提升、旋转、测温、液面观测、籽晶液面接触检测、称重等多项核心功能。