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SCMP系列感应加热PVT碳化硅长晶炉


应用领域:主要用于生产6-12英寸碳化硅单晶衬底。

SCRP1200系列电阻加热PVT碳化硅长晶炉


应用领域:主要用于生产6-12英寸碳化硅单晶衬底。

LP系列碳化硅液相长晶炉


应用领域:主要用于生产碳化硅单晶衬底,产品覆盖6-12英寸碳化硅单晶生产设备。
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