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碳化硅原料合成炉 HC-SCET1000系列——100KG级粉料合成炉
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碳化硅原料合成炉 HC-SCET1000系列——100KG级粉料合成炉

应用领域:碳化硅衬底原料合成

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产品描述

参数项目

技术指标

设备尺寸

2660x3470x4900mm

合成重量

100Kg(理论值)

最高使用温度

2400℃

加热方式

电阻加热

真空系统

极限真空5x10-4Pa,压升率≤5Pa/12h

气路系统

气体类型:Ar、N₂、H₂等

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