产品中心
产品描述
产品简介
SCMC8150多片MOCVD外延生长炉,可用于6/8寸碳化硅外延生长，终端产品应用于功率电子、射频通信和光电子等高技术领域，尤其是在需要耐高压、耐高温、高频和高效率的场景中表现尤为突出。本设备成膜均匀性好、自动化程度高，产能优势突出，适合批量化生产。
产品特点
1、单炉多片生长，生产效率高，产能巨大;
2、工艺过程实时监测，成膜均匀性好;
3、超高的源气利用率，单片成本更低;
4、设备占地面积小，洁净间单位面积的产出最高，适合批量化生产。
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SCMC8150多片MOCVD外延生长炉,可用于6/8寸碳化硅外延生长，终端产品应用于功率电子、射频通信和光电子等高技术领域，尤其是在需要耐高压、耐高温、高频和高效率的场景中表现尤为突出。本设备成膜均匀性好、自动化程度高，产能优势突出，适合批量化生产。
1、单炉多片生长，生产效率高，产能巨大;
2、工艺过程实时监测，成膜均匀性好;
3、超高的源气利用率，单片成本更低;
4、设备占地面积小，洁净间单位面积的产出最高，适合批量化生产。
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