SCG600系列半导体级单晶炉是专为半导体设备零部件及耗材市场打造的核心装备,其核心应用聚焦于18至24英寸超大直径硅部件及高纯硅耗材的制造。它能够稳定拉制出适用于半导体刻蚀、薄膜沉积等核心工艺腔室的高品质硅环、硅电极及硅托盘材料,满足先进制程对零部件高纯度、高耐热及高机械强度的严苛要求。

"系统采用先进的控制逻辑算法和模块化控制设计,提高了系统的可靠性、通用性、规模生产的重复性;其中集成了多功能视觉系统和逻辑算法,实现了液面距和拉速、直径的精确测量和控制能力,且拉晶过程从调温-引晶-放肩-转肩-等径-收尾实现全自动化运行;还配备了信息化集控软件,可实现单晶炉大批量数据的远程监控、数据采集; 该控制系统主要应用领域为光伏电池片制造,可通过小幅改动匹配不同型号炉台的长晶控制需求,适应性强。"

SG160型光伏级单晶炉是专为光伏产业降本增效打造的核心装备,核心应用聚焦于10至12英寸(G10-G12)大尺寸光伏电池片的制造。该设备可稳定拉制出适用于TOPCon、HJT,BC等高效电池技术路线的大直径单晶硅棒,满足光伏市场主流尺寸硅片的规模化生产需求。

SCMP 系列感应加热 PVT 碳化硅长晶炉拥有丰富型号配置,可支持 6 英寸、8 英寸及 12 英寸碳化硅单晶生长,设备功能完善,已通过大批量市场验证,技术成熟、运行稳定、操作简便。 终端产品广泛应用于新能源汽车、光伏与储能、5G/6G 通信及射频、智能电网、轨道交通、航空航天与军工等关键领域。其中,12 英寸碳化硅单晶可进一步满足 AI 镜片、热沉片、AI算力等新兴高端应用需求,为下一代功率与射频半导体提供核心材料支撑。