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氮化铝长晶炉


氮化铝长晶炉采用 PVT 物理气相传输法,专为高质量 AlN 单晶生长设计,具备超高温稳定控温、晶体升降旋转、温场均匀等特点,可制备低缺陷、大尺寸氮化铝单晶。 终端产品主要应用于深紫外 LED、5G/6G 射频器件、高热导率电子封装热沉、激光器件、半导体外延及航空航天等高端领域。
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