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电阻加热碳化硅粉料合成炉专为高纯碳化硅粉体合成工艺设计,采用电阻加热结构,温场稳定、控温精准、运行可靠。设备炉膛密封性优良,气氛控制稳定,可有效降低杂质引入,保障粉料纯度。
整机自动化程度高、操作简便、运行成本低,支持单炉次百公斤级碳化硅原料规模化生产,生产效率突出。设备配备专用坩埚吊装机构与工装,方便大吨位装料、卸料及热场安装维护,使用便捷高效,可为碳化硅单晶生长提供稳定、优质的原料保障。