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多晶硅铸锭炉

多晶硅铸锭炉

MSIR1050铸锭炉，是采用定向凝固法生长高品硅晶体的专用设备。该设备结构合理，加工工艺精良；采用电阻加热方式，三个独立控制的电源模块，可方便的构建晶体生长所需的温度梯度；设备主要由支撑平台、炉体、坩埚运动机构、下法兰升降机构、抽空系统、气路、冷却水路、电源及控制系统组成。可以实现从抽空、检漏、炉压及氩气流量控制、加热、融化、长晶、退火等全过程的自动控制，可满足生长Φ626×424.5的大尺寸多晶硅晶体，多应用于半导体刻蚀用硅部件材料。
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