高压长晶炉

济宁高压长晶炉

高压长晶炉采用电阻加热方式，专为高压环境下采用熔液提拉法生长碲锌镉、磷化铟、砷化镓晶体设计。设备主要由机架组件、炉室组件、加热系统、籽晶驱动系统、坩埚驱动系统、炉盖开盖机构、气路系统、真空系统、冷却系统、自动控制系统、报警系统及人机交互系统构成。设备搭载自主研发的全自动计算机控制系统，可实现抽真空、检漏、炉压调节、工艺气体配比及晶体生长全流程自动化控制。 终端产品广泛应用于光通信、高频射频、光电传感、航空航天、量子技术等高端领域，是制备关键半导体衬底材料的核心装备。

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