SCG200系列半导体级单晶硅炉
SCG200系列单晶炉，主要应用于8英寸半导体级硅片的制造，该设备在设计上具有稳定的机械结构，以抑制晶体生长过程中的振动干扰；同时配备高精度温度控制模块，确保固液界面处于稳定的热场环境中；此外还集成了自动化控制系统，实现对晶体提拉速度、旋转速率及炉内气压等多参数的精准调控，保障整个长晶工艺的一致性与重复性。
产品特点
高稳定性和可靠性
该设备采用高稳定性、高可靠性的结构设计，为晶体的长时间、高良率生长筑牢坚实基础。 01 | 智能化控制系统
配备自主研发的晶体生长控制系统，可对生长过程进行精准调控，确保晶体品质稳定。 02 | 先进的热场与磁场配置
搭配低能耗、高清洁度的热场系统及超导磁场，为高质量晶体生长营造了优越的物理环境。 03 | 全自动长晶能力
依托上述技术，设备可实现全自动长晶，有效减少人工干预，提升生产效率与产品一致性。其生长的晶体能够满足半导体级8英寸轻掺硅片的指标要求。 04 |
产品咨询
*注意：请确保填写准确信息并保持顺畅沟通。我们将尽快与您联系